제    품   명
    Gas Purifier
특           징

Model : LDP1000

• GETTER 타입 : Zr/V/Fe의 합금, 2 beds (350 and 200 Celsius)
가스 정화 : Ar/He/Ne/Xe/Kr. Nitrogen 버전이 이용가능 함.
제거되어 지는 불순물 : H2O,O2,CO,CO2,N2,THC, H2, CH4 (), H2O,O2,CO,CO2,H2 (방 온도)
불순물 레벨 : 각각의 불순물에 대해 <1 ppb • 유량 : 200 cc/min (정상적)
• GAS
연결 : 1/8’’ compression or 1/8’’ VCR • 추천되는 운영 압력 : 100 PSIG (689 kPAG)
추천되는 최소 운영 압력 : 10 PSIG (28 kPAG) 부가적으로는 1 PSIG (7 kPAG)
공급 : 115 VAC, 50 – 60 Hz 또는 220 VAC, 50 – 60 Hz
전력소비 : 최대 200 watts
무게 : 5 lbs (2.26 kg)